Archivo:Leiterbahn ausfallort elektromigration.jpg

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Leiterbahn_ausfallort_elektromigration.jpg(512 × 512 píxeles; tamaño de archivo: 65 KB; tipo MIME: image/jpeg)

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Descripción
Deutsch: Aufnahme eines Ausfallortes verursacht durch Elektromigration in einer Kupferleiterbahn unter dem Rasterelektronenmikroskop (REM). Die Passivierung wurde vorher durch w:de:Plasmaätzen (RIE) und w:de:Fluorwasserstoffsäure (HF) entfernt. Die Ätzprozesse sind dabei nicht erprobt gewesen und beruhen auf Versuchen das bestmögliche Resultat zu erlangen.
English: SEM image of a failure caused by electromigration in a copper interconnect. The passivation has been removed by RIE and HF
Fuente Mit dem Rasterelektronenmikroskop aufgenommen
Autor Patrick-Emil Zörner
Otras versiones keine bekannt!


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  • Image contributor(s): Paddy
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actual18:24 6 mar 2007Miniatura de la versión del 18:24 6 mar 2007512 × 512 (65 KB)CommonismNow{{Information| |Description=Aufnahme eines Ausfallortes verursacht durch Elektromigration in einer Kupferleiterbahn unter dem Rasterelektronenmikroskop (REM). Die Passivierung wurde vorher durch w:de:Reactive Ion Etching (RIE) und [[w:de:Fluorwasserst

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